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洁净室表面导静电性能检测的一般规定

来源:未知    编辑:admin    时间:2016-09-27 15:14

1.地面、墙面和工作台面等表面导静电性能应用符合精度要求的高阻计检测。
2.在表面上选定的代表区域的两点间检测,可选用测试装置。
 

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